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研磨用語

おぷちかるふらっと

オプチカルフラット

　平面ゲージである。ひずみや気泡のないガラス製で、厚さと直径比が1／6以上が決められている。被測定面をこのゲージ面と接触あるいは非接触の状態でセットし、両面からの反射光の間で生じる干渉縞の本数や曲がりをもとに、被測定面の形状精度を読み取る。

　

独立行政法人 産業技術総合研究所　(知財管理番号 : H15PRO160)