研磨ホーム研磨用語集(A-Z行) > EPMA(いー・ぴー・えむ・えー)
研磨用語集(A-Z行)

研磨用語研磨用語

いー・ぴー・えむ・えー

EPMA

 Electron probe microanalysis の略語。電子ビーム照射に伴って放出される特性X線の波長と強度を計測して、試料表層中の元素組成を分析する方法である。走査を行うことにより、全元素の二次元的な分布を求めることが可能である。SEMの能力も兼ね備えている。

 

研磨ホーム