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エネルギー分散型X線分析(EDS)

　エネルギー分散型X線分析(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy 略称 EDS)は、測定試料に電子線を照射して、薄膜から放射される特性X線を半導体検出器で測定して、電子線を当てた時に試料から発生する特性X線から元素分析を行います。
　走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)に付属させて使用するので、画像と照らし合わせて元素マッピングを行うことができます。炭素からウランまでの元素の測定が可能で、試料に1%以上の元素濃度があれば、検出することが可能です。