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PVD・CVD概論
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フォトルミネッセンス測定
　フォトルミネッセンス測定は、光源を半導体試料に照射して励起エネルギーを与えることで生成した正孔と電子が再結合するときに発生する光のスペクトルを波長領域で観測する方法です。発光ピークの波長から試料のバンドギャップや不純物準位がわかり、バンド構造を推定することができます。光学窓がついたクライオスタットに試料を入れて冷却し、熱の影響を除くことで、発光する起因となるエネルギー準位が同定できます。