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PVD・CVD概論
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レーザラマン分光測定
　試料からの散乱光をプリズムで分光してみると入射光とは異なる波長の弱い光が観測され、これをラマン散乱といいます。波長の長くなったラマン散乱をストークス光、波長の短くなったラマン散乱をアンチストークス光といいます。物質のに通した光と原子の振動の相互作用により物質の分極率が変化して、入射光と散乱光の差が生じ（ラマンシフト）、そのシフトから膜の結晶構造や組成、ひずみ、電気的性質、不純物の振る舞い、などを調べることができます。