ＴＯＰページへ PVD･CVD概論 加工条件・加工事例 調査結果
ＰＶＤ・CVDに関わる中小企業へのアンケート調査

問1. 貴社（事業所）は、PVD·CVDに関わるどのような手法（装置）を所有していますか。

自社で保有しているPVD・CVD手法（装置）についての統計グラフ･･･PVD法では、イオンプレーティング（16社）、スパッタリング（7社）、真空蒸着（3社）、電子ビーム蒸着（2社）が挙げられる。CVD法では、熱CVD（7社）、プラズマCVD（5社）、MOCVD（1社）が挙がっている。
図1. 自社で保有しているPVD·CVD手法（装置）