図3　SiC 切削仕上げ面粗さ
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加工前　ダイヤモンド　砥石加工 加工前　ダイヤモンド　砥石加工
切削速度 25m/min　切削時間1min 切削速度 53m/min　切削時間20sec
送り：0.03mm/rev, 切込み：0.2mm 送り：0.075mm/rev, 切込み：0.2mm
図4　SiC 切削面全体のプロファイル
切削速度 25m/min 切削速度 53m/min