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PVD・CVD概論
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ターボ分子ポンプの原理
ターボ分子ポンプは、固定された羽翼と回転する羽翼を交互に設けて回転させることで、気体分子を一方向に移動させ高真空まで排気することができる真空ポンプです。
単独で大気を直接引くことはできないので、油回転ポンプなどと併用して、10-1〜10-6 Pa までの真空度に到達することができます。