図3　SiC 切削仕上げ面粗さ
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切削速度23m/min 切削速度55m/min
送り：0.025mm/rev, 切込み：0.2mm, 切削開始直後
図4　SiC 切削仕上げ面
切削速度 23m/min 切削速度 55m/min
図5　SiC 切削仕上げ面断面
切削速度 23m/min 切削速度 55m/min